Page 137 - 2023中国无损检测年度报告
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一来，可有效控制了待修复内管前端口的待修复 装置传送工件。该自动化 X 射线检测系统解决了
区域与板条氩弧焊接的内外型面，从而有助于防 目前数字 X 射线检测时存在的自动化程度低、检
止待修复内管前端口的待修复区域在氩弧焊修复 测效率低的问题。
后发生变形。
一种晶圆表面量测设备、检测方法及应用
申请号 : CN202211656214.5
一种在役 GIS 设备 X 射线检测缺陷尺寸测量校
准方法和装置 发明人 : 董红 ; 罗锋 ; 冯泽
申请号 : CN202310005819.6 申请（专利权）人 : 南开大学
发明人 : 张国宝 ; 黄伟民 ; 杨为 ; 赵恒阳 ; 田宇 ; 公开日期（公开）: 2023.03.14
柯艳国 ; 杨熙 ; 吴正阳 ; 朱太云 ; 蔡梦怡 ; 官玮平 摘要 : 本发明属于 XPS 设备技术领域，公开了一
申请（专利权）人 : 国网安徽省电力有限公司电 种晶圆表面量测设备、检测方法及应用，包括：
力科学研究院 ; 国网安徽省电力有限公司 ; 合肥 X 射线源；环形能量分析器模块数据处理模块；
工业大学 实时监测模块；快速进样模块；传输模块；真空
公开日期（公开）: 2023.12.01 模块；加热模块；样品台模块。本发明通过提高
摘要 : 本发明提供了一种在役 GIS 设备 X 射线检 光电子的收集立体角，大幅增加通过环形能量分
测缺陷尺寸测量校准方法和装置。所述方法包括： 析器的光电子的数量，可大幅提升设备对光电子
获取 X 射线检测图谱，确定图谱中缺陷尺寸的像 信号的收集效率，避免多次重复扫描带来的时间
素数量；获取 X 射线机发出的 X 射线的照射角度 消耗；可同时进行不同光谱、能谱分析、微区扫
和 X 射线探测器的翻转状态；根据照射角度和翻 描，极大减少了检样时的步骤及时耗。本发明通
转状态，对像素数量进行修正；根据修正后的像 过 XPS 检测通量的颠覆性提高，其可实现与光学
素数量，确定被检工件的缺陷尺寸。本发明通过 方法接近量测速度，从而可以实现多重技术同步
对 X 射线垂直透照以及 X 射线束中心偏移、探测 量测，大幅提高晶圆检测或量测的效率；极大提
器翻转、X 射线束中心偏移且探测器翻转非垂直 升了光电子的收集效率，可大幅缩减单个样品的
透照情况下的几何关系进行分析，能够对 X 射线 检测时间。
束偏移、探测器翻转等典型非垂直透照下的缺陷
尺寸进行修正，实现了全透照条件下缺陷尺寸的 一种适用于长直焊缝的数字射线检测装置及检
测量与校准。 测方法
申请号 : CN202211577982.1
一种自动化 X 射线检测系统 发明人 : 刘思明 ; 谢新 ; 周昌智 ; 赵德斌 ; 黄斐 ;
申请号 : CN202211702394.6 黄凯华 ; 吉宏林 ; 尹嘉雯 ; 张逸飞 ; 王奕杰
发明人 : 周齐 ; 邓德军 ; 王宾 ; 孙晶 ; 罗远锋 申请（专利权）人 : 上海船舶工艺研究所（中国
申请（专利权）人 : 航天科工空天动力研究院（苏 船舶集团有限公司第十一研究所）
州）有限责任公司 公开日期（公开）: 2023.05.09
公开日期（公开）: 2023.04.25 摘要 : 本发明提供一种适用于长直焊缝的数字射
摘要: 本发明公开了一种自动化X射线检测系统， 线检测装置及检测方法，机械传动系统包括射线
属于 X 射线检测技术领域，其包括 X 射线装置、 源移动车和探测器运载车，射线机设置于射线源
防辐射装置、流水线装置和控制装置；其中，X 移动车上，射线源移动车由上位机无线控制沿导
射线装置包括设置于防辐射装置内部的射线源和 轨移动，探测器运载车上设有辐射探测器，电控
探测器，用于对工件进行 X 射线检测；流水线装 系统包括微型计算机、可编程控制器和无线中继
置用于将工件从防辐射装置的外部传送进防辐射 器，电控系统通过路由中继由上位机无线控制采
装置内部进行 X 射线检测，并将经 X 射线检测完 集，安全防护系统包括辐射安全防护系统和设备
的所述工件从防辐射装置的内部传出；控制装置 安全防护系统，设备安全防护系统包括光电传感
能够控制 X 射线装置相对工件移动、控制防辐射 器，光电传感器位于探测器运载车两侧前轮、后
装置的进料口和出料口打开 / 关闭，控制流水线 轮边缘；本发明采用数字射线检测技术，减少成
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